適用于半導(dǎo)體、光伏、顯示面板行業(yè)高純氣體壓力監(jiān)測(cè)；
氦氣泄漏率≤1×10-(12)kPa·L/s；
無(wú)氧焊接技術(shù)；
可選EP級(jí)、BA級(jí)；
百級(jí)潔凈室生產(chǎn)包裝符合SEMI E49.6；
VCR壓力接口；
多客戶(hù)安裝長(zhǎng)期使用。
MPM801UHP型超高純壓力表適用于芯片制造、光伏電池、顯示面板生產(chǎn)、工業(yè)氣體、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。
適用于半導(dǎo)體、光伏、顯示面板行業(yè)高純氣體壓力監(jiān)測(cè)；
氦氣泄漏率≤1×10-(12)kPa·L/s；
無(wú)氧焊接技術(shù)；
可選EP級(jí)、BA級(jí)；
百級(jí)潔凈室生產(chǎn)包裝符合SEMI E49.6；
VCR壓力接口；
多客戶(hù)安裝長(zhǎng)期使用。
適用于半導(dǎo)體、光伏、顯示面板行業(yè)高純氣體壓力監(jiān)測(cè)；
氦氣泄漏率≤1×10(-12) kPa·L/s；
無(wú)氧焊接技術(shù)；
EP級(jí)、BA級(jí)；
百級(jí)潔凈室生產(chǎn)包裝符合SEMI E49.6；
VCR壓力接口；
多客戶(hù)安裝長(zhǎng)期使用；
開(kāi)關(guān)量。
高純氣體從存儲(chǔ)，輸送，分配到尾氣處理，都離不開(kāi)壓力監(jiān)測(cè)。麥克傳感全自主研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準(zhǔn)獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對(duì)需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無(wú)污染且滿足工藝制成要求的用戶(hù)來(lái)說(shuō)，是理想的選擇。
產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)
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